精密精馏是指用精馏分离沸点相近混合物或得到高纯化学品的方法。精密精馏系统相对挥发度接近于1，因而操作回流比较大。比较典型的行业为光伏级或电子级多晶硅，需要通过精馏得到电子级的三氯氢硅，纯度要求高达99.99999-99.9999999%，所需的理论板数很高及回流比比较大。因此，精密精馏分离过程理论级要求高，针对低沸点差体系、高纯度分离体系设计出特殊规格的高效金属丝网填料，理论级数可达5块/米以上。